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ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列

量程0.5 SCCM-6000 SLPM,優于1 %的精度,控制范圍廣,優于100 ms響應時間

美國ALICAT 21系列標準型質量流量控制器,采用內部補償型層流壓差專利技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測控場合。設備采用快速穩定的優質電磁閥以及優化的PID調校,可達到優于100 ms的控制速度,并保持極佳穩定性,并有超低壓損產品可供您選擇。

應用及案例


● 大學/研究所           ● 環境監測

● 真空行業及鍍膜     ● 工業爐窯

● 半 導   體               ● 汽車制造

● 光       伏               ● 燃料電池

● 計量校準               ● 過程工藝氣體測量


產品特色


●  數字化產品

●  多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

●  多參數控制,如體積流量、質量流量和壓力

●  標配三種控制方式:數字、模擬和本地面板

●  可選高精度:優于0.5%

●  可測范圍廣,0.01~100%

●  響應時間快,優于100 ms

●  內置98種氣體

●  可現場編輯混合氣體(最多5種成分),并最多存儲20種混合氣



精度升級


量程為0.5 SCCM -6000 SLPM,

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標升級:

質量流量普通精度     ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程(取最大值)

質量流量高精度        ± 0.5% 讀數或± 0.1% 滿量程(取最大值)

重復性                      ±(0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程)

質量流量零點漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

                                ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質量流量量程漂移    ± 0.01%讀數/ ℃溫差

                                ± 0.1 %讀數/ Atm壓力差



性能指標


介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體,請參考氣體兼容表

                 一臺設備內置所有氣體,用戶可現場選擇

量       程    從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM(詳情請咨詢)

測量和控制范圍    0.01~100%

最大顯示流量    128 %滿量程

最大可控流量    102.4 %滿量程

顯 示 屏    按鍵操作,標準為LCD黑白顯示屏(帶背光),可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±(0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程)見上段精度升級部分

                  ±(0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程)(可選)

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數的額外誤差

重  復  性    ± 0.2 %滿量程

零點漂移&滿量程漂移    0.02% 滿量程/ ℃/ Atm

響應時間    100 ms(可調)

預熱時間    <1s

標定工況    25 ℃&1Atm(其它標況可調)

工作溫度    -10 ~ 60 ℃(可選高溫選項至100℃)

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0 ~ 95 %,無冷凝

最大工作壓力    1 MPaG(可選2MPaG高壓選項)

最低操作壓力    如果不做真空特殊標定,建議在絕壓80KPaA以上使用;其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.5%讀數(讀數>1Atm),或±0.07PSIA(<1Atm)

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號[email protected]波特率;

                         模擬信號:1000Hz

屏幕刷新頻率    10Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓     7-30 VDC (如選4-20 mA輸出,須為15-30 VDC )

供電電流    250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢),額外加 40 mA( 4 - 20 mA)

電氣接口    DB9,可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN

泄漏率(外漏)    選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質    302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、黃銅、430FR不銹鋼、硅、玻璃

過程連接    標準為NPT內螺紋,詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)

 *如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及供電電流需來電垂詢



選項配件


標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數:質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
RS-232多點式數字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選
可調節PID算法 
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保


可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體(最多4種)
定制流量范圍
不銹鋼閥門
高流量低壓損閥門
防爆選項
集成式電位計控制


安裝手冊

1


機構認證

1


尺寸詳圖


                         ALICAT 21系列18V1.jpg




尺寸圖-MCRH-5000SLPM-D.jpg



尺寸連接


滿量程質量流量控制器

滿量程壓損1psid

排氣到大氣中

外觀尺寸

連接接口2

0.5 sccm - 50 sccm

1.0

3.9''H ×3.4''W ×1.1''D

M-5 10-32)(內螺紋)3

100 sccm - 500 sccm

1.0

4.1''H ×3.6''W ×1.1''D

1/8''NPT內螺紋

1 slpm

1.5

2 slpm

3.0

5 slpm

2.0

10 slpm

5.5

20 slpm

20.0

50 slpm

2.0

5.5''H ×7.7''W ×2.3''D

1/4''NPT內螺紋

100 slpm

3.2

250 slpm

2.4

5.5''H ×7.7''W ×2.3''D

1/2''NPT內螺紋

500 slpm

6.5

5.5''H ×7.4''W ×2.3''D

3/4''NPT內螺紋

2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內螺紋)

1000 slpm

14.0

1500 slpm

17.0

5.5''H ×8.1'W ×2.9''D

2000 slpm

28.6

3000 slpm

16.8

5.5''H ×8.9''W ×2.9''D

1-1/4''NPT內螺紋

5000 slpm

14.1

6.3''H ×10.0''W ×4.5''D

1-1/2''NPT內螺紋

1、另有低壓損系列質量流量控制器。

2、與Beswick?,Swagelok?管,Parker?,表面密封,快接接頭和卡套轉接頭相兼容,也可以按照用戶需求與VCR,SAE接頭相兼容。

3、Buna-N表面密封至1/8''NPT內螺紋。



產品大圖

質量流量控制器-標準型-MC-21.png



型號列表


見“尺寸連接”。



氣體編碼


選型表截圖長圖.png



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